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ICP ICPS-7510電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀島津ICP采用的晶體管固態(tài)高頻發(fā)生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積Z小、重量Z輕的發(fā)生器。霧化效率高，達(dá)到65%。所以，載氣可以用工業(yè)氬氣（99.95%），而無需使用高價(jià)的高純氬氣（99.999%）。
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